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用于石英晶片的表面除污装置

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用于 石英 晶片 表面 装置
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1、141) 的内腔壁安装有限位珠 (142) , 限位珠 (142) 的侧面安装有弹簧 (143) 。142) 和弹簧 (143) , 升降装置 (14) 的正面开设有固定孔 (141) , 固定孔 (晶片的表面除污装置, 其特征在于: 所述升降装 置 (14) 包括固定孔 (141) 、 限位珠 ( , 连接 板 (114) 的侧面安装有限位套 (117) 。 3.根据权利要求1所述的一种用于石英 转动轴 (113) 的侧面安装有转杆 (115) , 转杆 (115) 贯穿连接转动套 (116)112) 的侧面连接有转动轴 (113) , 转动轴 (113) 的侧面贯穿连 接板 (114) ,。

2、装有安装台 (111) , 安装台 (111) 的上端安装 有驱动电机 (112) , 驱动电机 (、 转杆 (115) 、 转动套 (116) 和限位套 (117) , 主机 (11) 的内腔一侧安 包括安装台 (111) 、 驱动电机 (112) 、 转动轴 (113) 、 连接板 (114) 3) 。 2.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片的表面除污装置, 其特征在于: 所述主机 (11) 主盒 (21) 的两端侧面安装有连 接杆 (22) , 主盒 (21) 的内腔上端安装有封盖 (2片盒 (2) ; 所述晶片盒 (2) 包括主盒 (21) 、 连接杆 (22) 和封盖 (23) ,。

3、开设有除污池 (15) 、 水槽 (16) 和甩干槽 (17) , 除污池 (15) 的内部安装有晶物台 (13) , 主机 (11) 的内腔安装有升降装置 (14) , 主机 (11) 的上 端依次槽 (17) , 主机 (11) 的上端安装有背板 (12) , 背板 (12) 的正面安装有一对置) 、 置物台 (13) 、 升降 装置 (14) 、 除污池 (15) 、 水槽 (16) 和甩干腔 安装有晶片盒 (2) , 其特征在于: 所述除污机 (1) 包括主机 (11) 、 背板 (121.一种用于石英晶片的表面除污装置, 包括除污机 (1) 和晶片盒 (2) , 除污机 (1) 的内。

4、书3页 附图4页 CN 111987022 A 2020.11.24 CN 111987022 A 并从紧固孔插 入固定杆, 而限位珠能够卡住固定杆, 这种固定 方式快捷且便利。 权利要求书1页 说明, 连接杆的侧面上 端安装有安装套, 当主盒放入除污池内腔时, 安 装套可直接套在升降装置的上端, 而晶片盒在升降装置的径向 运动下, 加快晶片盒内部石英晶片表面污物的清 理, 主盒的两侧安装有连接杆入除污池, 在驱动电机的转动下 带动转动轴, 转动轴带动转杆, 转杆转动使转动 套做径向往复运动, , 在主机的上端安装有升降装置, 当 石英晶片需要进行表面除污时, 石英晶片让入晶 片槽, 晶片盒让要 本发明公开了一种用于石英晶片的表面除 污装置, 包括除污机和晶片盒, 除污机的内腔安 装有晶片盒01L 21/677(2006.01) (54)发明名称 一种用于石英晶片的表面除污装置 (57)摘72)发明人 李直荣温从众陈高雄 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H鞍山荣泰科技有限公司 地址 243000 安徽省马鞍山市慈湖高新区 霍里山大道北段1669号2栋 (21)申请号 202010970812.4 (22)申请日 2020.09.15 (71)申请人 马19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日。

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