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从ITO废靶中提纯铟的提纯装置

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ITO 废靶中 提纯 装置
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1、3656mm, 高度为300400mm。 10.根据权利要求4所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置, ITO废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 所述的铟金属板 的外圆直径为4060mm、 内圆直径为0.510/min,加热的温度为50-150, 保温的时间为0.5-3h。 9.根据权利要求3所述从.根据权利要求1所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 所述的真空炉(5) 加热的速率为空炉(5) 内的真空度在220pa时关闭球阀开关, 且在升华过程中保持真空度高于20100pa。 8度为510-2pa。 7.根据权利要求1所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 所述的真。

2、TO废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 所述的真空泵 (11)的功率2KW, 所能达到的极限真空的铟金属回 收靶(6)内部具有空腔, 冷却装置(4)布置在该空腔的内部。 6.根据权利要求1所述从I冷装置或压缩机冷却装置。 5.根据权利要求1所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 所述述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 所述的冷却装置 (4)为水循环冷却装置、 半导体制废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 所述的铟金属 回收靶(6)为铟金属板。 4.根据权利要求1所装置, 其特征在于, 所述的加热装置 (7)为电加热棒或加热丝。 3.根据权利要求1或2所述从ITO。

3、)与真空炉(5)连接的管道上设置有真空度表(9)。 2.根据权利要求1所述从ITO废靶中提纯铟的提纯有铟金属回收靶(6), 还包括一个用于冷却铟金属回收靶(6)的冷却装置(4) 以及在所述真空泵(115)连接, 所述的真空炉(5)内设置有用于给铟锡合金加热的加热装置(7), 在真空 炉(5)顶部设置该真空炉(5)具有仓门(8), N2气瓶(1)与真空泵(11)分别通过设有球阀开关的管道 与真空炉( 1.一种从ITO废靶中提纯铟的提纯装置, 其特征在于, 包括一提供提纯反应场所的真空 炉(5), 明书3页 附图1页 CN 111979419 A 2020.11.24 CN 111979419 A。

4、人员 操作,降低了人力成本,提取的铟金属的纯度较 高, 可以达到99.99以上。 权利要求书1页 说在于 不产生大量废液和废渣, 环保高效, 降低处理成 本。 工艺简单, 不需要特殊建筑, 不需要专业用于冷却铟金属回 收靶的冷却装置以及在所述真空泵与真空炉连 接的管道上设置有真空度表。 本发明的优点炉连接, 真空炉内设置有 用于给合金加热的加热装置, 在真空炉顶部设置 有铟金属回收靶, 还包括一个提供提纯反应场所的真空炉, 该 真空炉具有仓门, N2气瓶与真空泵分别通过设有 球阀开关的管道与真空TO废靶中提纯铟的提纯装置 (57)摘要 本发明公开了一种从ITO废靶中提纯铟的提 纯装置, 包括一C22B 7/00(2006.01) C22B 58/00(2006.01) (54)发明名称 从I 广东科信启帆知识产权代理 事务所(普通合伙) 44710 代理人 吴少东 (51)Int.Cl. 楼D301 (住所申报) (72)发明人 崔恒丁金铎葛春桥柳春锡 金志洸王梦涵 (74)专利代理机构山智隆新材料科技有限公司 地址 528400 广东省中山市板芙镇居委会 板芙北路17号四海酒店A栋三21)申请号 202010967577.5 (22)申请日 2020.09.15 (71)申请人 中19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日。

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