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亚分辨率辅助图形的获取方法

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亚分辨率辅助图形的获取方法

特征在于, 所述第二距离 的调整范围为0至所述第一亚分辨率辅助图形距第二图形的距离。 8.根据权利要至所述第一亚分辨率辅助图形的长边的长度。 7.根据权利要求1所述一种亚分辨率辅助图形的获取方法, 其 6.根据权利要求4所述一种亚分辨率辅助图形的获取方法, 其特征在于, 所述第一距离 的调整间隔为0图形的获取方法, 其特征在于, 所述第一距离 的调整范围为0至所述第一亚分辨率辅助图形的长边的长度。辨率辅助图形为矩形, 所述子图形为沿所述矩形的长边进行分割。 5.根据权利要求3所述一种亚分辨率辅助括两个子图形。 4.根据权利要求1所述一种亚分辨率辅助图形的获取方法, 其特征在于, 所述第一亚分 3.根据权利要求1所述一种亚分辨率辅助图形的获取方法, 其特征在于, 所述第二亚分 辨率辅助图形包平方向上存在第一误差, 所述第二图形光学 模型的模拟轮廓相对于所述第一图形在垂直方向上存在第二误差。种亚分辨率辅助图形的获取方法, 其特征在于, 所述第二图形 光学模型的模拟轮廓相对于所述第一图形在水放置误差; 通过所述最小边缘位置放置误差, 获得最优第二亚分辨率辅助图形。 2.根据权利要求1所述一整所述第一距离和所述第二距离, 获取所述第二图形光学模型的模拟轮廓相对于所 述第一图形的最小边缘位置二图形移动第二距离, 获取所述第二图形光学模型的模拟轮廓 相对于所述第一图形的边缘位置放置误差; 调多个子图形, 获得 第二亚分辨率辅助图形, 其中相邻所述子图形间设有第一距离; 将所述子图形向所述第形进行光学邻近修正, 获得多个第二图形; 将所述第一亚分辨率辅助图形沿垂直于所述第二图形的方向分割为在所述多个第一图形外围, 所述第一亚分辨率辅 助图形与所述第一图形之间具有一最小间距; 对所述第一图版图, 所述集成电路版图包括多个第一图形及第一亚分辨率辅助图 形; 所述多个第一亚分辨率辅助图形布置887 A 1.一种亚分辨率辅助图形的获取方法, 其特征在于, 其至少包括以下步骤: 提供一集成电路书1页 说明书7页 附图9页 CN 111983887 A 2020.11.24 CN 111983辅助图形。 本发明解决了亚分辨率辅助图形易被曝光显影 到基底上, 从而降低产品良率的问题。 权利要求相对于所述第一图形 的最小边缘位置放置误差; 通过所述最小边缘位 置放置误差, 获得最优第二亚分辨率形间设有第一距离; 将所述子图 形向所述第二图形移动第二距离, 获取所述第二 图形光学模型的模拟轮廓助图形沿垂直于所述第二图形的方向分割 为多个子图形, 获得第二亚分辨率辅助图形, 其 中相邻所述子图 亚分辨率辅助图形; 对所述第一图形进行光学邻 近修正, 获得多个第二图形; 将所述第一亚分辨 率辅的获取 方法, 其至少包括以下步骤: 提供一集成电路版 图, 所述集成电路版图包括多个第一图形及第一1) (54)发明名称 一种亚分辨率辅助图形的获取方法 (57)摘要 本发明公开一种亚分辨率辅助图形所(普通 合伙) 31219 代理人 朱艳 (51)Int.Cl. G03F 1/36(2012.0- H1105 (72)发明人 赵广罗招龙朱安康刘秀梅 王康 (74)专利代理机构 上海光华专利事务京晶驱集成电路有限公司 地址 210000 江苏省南京市栖霞区迈皋桥 创业园科技研发基地寅春路18号21)申请号 202011069768.6 (22)申请日 2020.10.09 (71)申请人 南19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日

注意事项

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