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单片晶圆蚀刻设备

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单片晶圆蚀刻设备

c41)、 中板(c42)、 顶刮板(c43), 所述晃动板(c41)与配重块(c2)中部轴连接, 接。 5.根据权利要求4所述的一种单片晶圆蚀刻设备, 其特征在于: 所述清理头(c4)包括晃 动板(所述配重块(c2)与压缩杆(c3)下端外侧嵌固连接, 所述清理头(c4)与配重块 (c2)中部嵌固连压缩杆(c3)、 清理头(c4), 所述弹簧(c1)连接在固定板(63b)与压缩 杆(c3)之间, 的一种单片晶圆蚀刻设备, 其特征在于: 所述清理块(63c)包括 弹簧(c1)、 配重块(c2)、 3a)上侧焊接连接, 所述清理块(63c)与固定板(63b)外侧焊接连 接。 4.根据权利要求2所述(63c), 所述固定环(63a)与主体(261)中部焊接连接, 所 述固定板(63b)与固定环(6圆蚀刻设备, 其特征在于: 所述清理器(263)包括 固定环(63a)、 固定板(63b)、 清理块固连接, 所述清理器(263)与主体(261)中部上侧活动卡合。 3.根据权利要求2所述的一种单片晶63), 所述主体(261)与螺杆(24)外侧嵌固连接, 所述导流 槽(262)与主体(261)上嵌圆蚀刻设备, 其特征在于: 所述导流座(26)包括主 体(261)、 导流槽(262)、 清理器(2嵌固连接, 所述导流座(26)与螺杆 (24)中部外侧铆合连接。 2.根据权利要求1所述的一种单片晶固连接, 所述螺杆(24)与驱动箱(21) 上端内部嵌固连接, 所述放置台(25)与螺杆(24)上侧焊接连接, 所述外罩(22)与支脚(1)上 侧焊接连接, 所述过滤芯(23)与外罩(22)中部内侧嵌23)、 螺杆(24)、 放置台 (25)、 导流座(26), 所述驱动箱(21)与外罩(22)下侧)上侧焊接连接, 其特征在于: 所述蚀刻液过滤器(2)包括驱动箱(21)、 外罩(22)、 过滤芯(焊接连接, 所述供液管(3)与蚀刻液过滤器 (2)上侧嵌固连接, 所述蚀刻室(4)与蚀刻液过滤器(2 蚀刻液过滤器(2)、 供液管(3)、 蚀刻室 (4), 所述支脚(1)上侧与蚀刻液过滤器(2)下侧020.11.24 CN 111987024 A 1.一种单片晶圆蚀刻设备, 其结构包括支脚(1)、, 防止金属产生二次堆 积。 权利要求书1页 说明书4页 附图7页 CN 111987024 A 2压力度, 提高对内壁的清理效 果, 同时防止对导流槽表面总成伤害产生金属粉 尘, 提高设备的使用寿命通过垫球在导流槽内壁进行刮蹭, 顶齿 在垫球剐蹭时进行支撑, 并通过弹板左侧的顶弧 加大对导流槽的顶块向外侧扩散时下侧对导流槽进行清理, 降低了 导流槽内部堆积的金属尘, 防止了导流槽堵塞, 顶刮板会座时主体 上侧的导流槽会通过旋转带动清理器向外移动 对自身进行清洗, 通过固定环固定固定板, 清理 、 蚀刻室, 支 脚上侧与蚀刻液过滤器下侧焊接连接, 供液管与 蚀刻液过滤器上侧嵌固连接, 经过导流刻设备 (57)摘要 本发明公开了一种单片晶圆蚀刻设备, 其结 构包括支脚、 蚀刻液过滤器、 供液管艳 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种单片晶圆蚀艳艳 地址 510000 广东省广州市番禺区钟村街 市广路钟三路段9号A-8房 (72)发明人 李艳21)申请号 202011059242.X (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人 李19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日

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