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上盖组件、芯片测试机构及芯片测试一体机

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上盖组件、芯片测试机构及芯片测试一体机

所述探针结构包括探针座、 插设于 所述探针座内的探针本体以及固定于所述探针座上的针座盖, 所述针连接器用于电性连接所述上盖电路板和所述下盖电路板。 8.如权利要求7所述的芯片测试机构, 其特征在于 用于放置芯片的浮动片、 用于缓冲所述浮动片的弹性件以及与所述探针结构电性连接 的下盖电路板, 所述盖支架、 设于 所述下盖支架内的第二加热结构、 设于所述下盖支架内且用于与芯片电性连接的探针结 构、所述上盖组件和所述下盖组件。 7.如权利要求6所述的芯片测试机构, 其特征在于: 所述下盖组件包括下于: 包括权利要求1-5任一项所述的上盖组件, 还包括 下盖组件以及连接器, 所述连接器用于电性连接通道的一端延伸至所述上压片, 所述气流通道的另一端连接有气路接头。 6.一种芯片测试机构, 其特征在直设置。 5.如权利要求1所述的上盖组件, 其特征在于: 所述上盖支架上开设有气流通道, 所述 气流入的加热 孔。 4.如权利要求3所述的上盖组件, 其特征在于: 所述加热孔的轴向与所述镜头的轴向垂 一加热结构包括加热棒以及用于 控制所述加热棒温度的第一温控开关, 所述加热固定框开设有供所述加热棒插框, 所述第一加热结构设于所述加热固定框内。 3.如权利要求2所述的上盖组件, 其特征在于: 所述第 固定框、 隔热板以及加热固定框, 所述镜头腔开设于所述镜头固定框, 所述压片腔开设于所 述加热固定且用于压紧芯片。 2.如权利要求1所述的上盖组件, 其特征在于: 所述上盖支架包括依次层叠设置的镜头定座固 定于所述镜头腔内, 所述上压片固定座固定于所述压片腔内, 所述上压片固定于所述上压 片固定座以及上盖电路板, 所述 上盖支架的一侧开设有镜头腔, 所述上盖支架的另一侧开设有压片腔, 所述镜头固固定座、 设于所述镜头固定座内的 镜头、 上压片固定座、 上压片、 设于所述上盖支架内的第一加热结构0.11.24 CN 111982816 A 1.一种上盖组件, 其特征在于: 包括上盖支架、 镜头即可以适用于不同的芯片。 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 CN 111982816 A 202对镜头固定座的位置或者更换镜头固定座、 通 过调整上压片相对上压片固定座的位置或者更 换上压片固定座芯 片测试一体机, 通过设置镜头固定座和上压片固 定座, 使得在更换芯片之后, 可以通过调整镜头 相定于压片腔 内, 上压片固定于上压片固定座且用于压紧芯 片。 本发明提供的上盖组件、 芯片测试机构及的一侧开设有镜头 腔, 上盖支架的另一侧开设有压片腔, 镜头固定 座固定于镜头腔内, 上压片固定座固定座内的镜头、 上压片固 定座、 上压片、 设于上盖支架内的第一加热结构 以及上盖电路板, 上盖支架一种上盖组件、 芯片测试机构 及芯片测试一体机, 上盖组件包括上盖支架、 镜 头固定座、 设于镜头固06.01) (54)发明名称 上盖组件、 芯片测试机构及芯片测试一体机 (57)摘要 本发明提供了人 刘艳 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(20 杨建设张雅凯缪凯刘雪飞 (74)专利代理机构 深圳中一联合知识产权代理 有限公司 44414 代理山晔芯电子科技有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市锦溪镇 锦顺路338号 (72)发明人21)申请号 202011063128.4 (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人 昆19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日

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