我爱发明网
换一换
首页 我爱发明网 > 资源分类 > PDF文档下载
 

用于连续单晶硅生长的带有孔的容器及孔的设计方法

  • 资源ID:4942       资源大小:358.78KB        全文页数:9页
  • 资源格式: PDF        下载积分:25金币
快捷下载 游客一键下载
会员登录下载
三方登录下载: QQ登录  
下载资源需要25金币
邮箱/手机:
温馨提示:
用户名和密码都是您填写的邮箱或者手机号,方便查询和重复下载(系统自动生成)
验证码:   换一换

加入VIP,免费下载
 
友情提示
2、PDF文件下载后,可能会被浏览器默认打开,此种情况可以点击浏览器菜单,保存网页到桌面,既可以正常下载了。
3、本站不支持迅雷下载,请使用电脑自带的IE浏览器,或者360浏览器、谷歌浏览器下载即可。
4、本站资源下载后的文档和图纸-无水印,预览文档经过压缩,下载后原文更清晰。
5、试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓。

用于连续单晶硅生长的带有孔的容器及孔的设计方法

述通孔的横截面积之和0.1mm2S总5024mm2。 5.根据权利要求4所述的一种用于连续单晶硅生长有一个所述通孔时, 所述通孔的横截面积0.1mm2S5024mm2, 当具有多个所述通孔时, 所有所体空间内的熔 体进入所述晶体生长区的通孔, 所述通孔位于所述晶体生长区内的熔体液面以下, 且当只 具熔体形成的单晶硅的生长速度数据; S3: 根据硅料纯度数据和生长速度数据在器壁上开设至少一个用于总熔法, 其特征在于, 包括如下 步骤: S1: 获取形成熔体的硅料纯度数据; S2: 获取晶体生长区内时, 所有所述通孔的横截面积之和S总2mm2。 4.一种用于连续单晶硅生长的带有孔的容器的孔的设计方速度K 2kg/h时, 若只有一个所述通孔, 则所述通孔的横截面积S2mm2, 若具有多个所述通孔 横截面积之和S总1mm2; 当形成熔体的硅料纯度99.999, 且晶体生长区内熔体形成的单晶硅的生长, 若只有一个所述通孔, 则所述通孔的横截面积S1mm2, 若具有多个所述通孔 时, 所有所述通孔的: 当形成熔体的硅料纯度99.99999, 且晶体生长区内熔体形成的单晶硅的生长速度 K5kg/h时间的距离h10mm。 3.根据权利要求1或2所述的一种用于连续单晶硅生长的带有孔的容器, 其特征在于的一种用于连续单晶硅生长的带有孔的容器, 其特征在于: 所述通孔的上沿与所述晶体生长区内的熔体液面之多个所述通孔时, 所有所述通孔的横截面积之和0.1mm2S总5024mm2。 2.根据权利要求1所述的熔体液面以下; 当只具有一个所述通孔时, 所述通孔的横截面积0.1mm2S5024mm2; 当具有少一个通孔; 所述通孔用于所述总熔体空间内的熔体进入所述晶体生长区内; 所述通孔位于所述晶体生长区内所围成的空间形成晶体生长区, 所述晶体生长区与所述总熔体空间同轴, 其特征在于: 所述器壁上加工有至9576 A 1.一种用于连续单晶硅生长的带有孔的容器, 包括设置在总熔体空间内的器壁, 所述 器壁求书1页 说明书6页 附图1页 CN 111979576 A 2020.11.24 CN 11197质点不 能进入坩埚内, 通孔实现了熔体的补充。 通孔的 尺寸实现更好的提高单晶体的生长良率。 权利要mm2S 5024mm2。 本发明通过在器壁上开设通孔实现了 晶体生长区的分隔, 得其外部未熔化的杂进入所述晶体生 长区内, 所述通孔位于所述晶体生长区内的熔体 液面以下, 所述通孔的横截面积0 .1生长区与所述总熔体空间同 轴, 所述器壁上加工有至少一个通孔, 所述通孔 用于所述总熔体空间内的熔体及孔的设计方法, 包括设置在总熔体 空间内的器壁, 所述器壁所围成的空间形成晶体 生长区, 所述晶体硅生长的带有孔的容器 及孔的设计方法 (57)摘要 本发明提供一种用于连续单晶硅生长的带 有孔的容器/02(2006.01) C30B 29/06(2006.01) (54)发明名称 一种用于连续单晶12 代理人 李洪福 (51)Int.Cl. C30B 15/10(2006.01) C30B 15发明人 黎志欣逯占文李军孔德东 曹玉宝 (74)专利代理机构 大连东方专利代理有限责任 公司 212城凯克斯科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇 锡港路张泾东段209号 (72)21)申请号 202011056642.5 (22)申请日 2020.09.29 (71)申请人 连19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日

注意事项

本文(用于连续单晶硅生长的带有孔的容器及孔的设计方法)为本站会员(admin)主动上传,我爱发明网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知我爱发明网(点击联系客服),我们立即给予删除!

温馨提示:如果因为网速或其他原因下载失败请重新下载,重复下载不扣分。




关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

copyright@ 20018-2021 我爱发明网版权所有

经营许可证编号:粤ICP备20005300号-1



收起
展开