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多端口射频微波芯片的测试系统

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多端口射频微波芯片的测试系统

XIe协议接口连接。 7.根据权利要求16任意一项所述的多端口射频微波芯片的测试系统, 其特征在于:多端口射频微波芯片的测试系统, 其特征在于: 所述PXI-e多 功能测试平台内部的硬件单元之间通过P、 直流供电与测试模块, 波形控制与监测模块, 以及信号采 集与分析模块。 6.根据权利要求1所述的1所述的多端口射频微波芯片的测试系统, 其特征在于: 所述PXI-e多 功能测试平台包括工程控制模块 测试包括S参数、 噪声、 功率、 增益压缩、 频谱及交调中的至少一个或多个组合。 5.根据权利要求晶圆上下料装置。 4.根据权利要求1所述的多端口射频微波芯片的测试系统, 其特征在于: 所述射频特性求1所述的多端口射频微波芯片的测试系统, 其特征在于: 所述多端口射 频微波芯片的测试系统还包括自动述显微镜模组设置于所述自动探针台的上 方, 用于观察所述待测芯片及各探针的对应位置。 3.根据权利要端口射频微波芯片的测试系统, 其特征在于: 所述多端口射 频微波芯片的测试系统还包括显微镜模组, 所信号实现对所述待测芯片的射频特性测试; 所述射频探针安置于所述探针座上。 2.根据权利要求1所述的多性测试及监测; 所述四端口矢量网络分析仪连接所述射频探针, 基于所述四端口矢量网络分析仪提供 的测试述直流探针卡, 基于所述PXI-e多功能测 试平台提供的测试信号实现对所述测试基座上待测芯片的直流特行X-Y-Z 方向的三维移动, 进而实现六维空间移动; 所述PXI-e多功能测试平台的量测接口连接所一台面的上方, 所述探 针座安置于所述第二台面上; 所述晶圆载台和所述探针座由伺服电机驱动, 分别进台面; 所述第一台面位于所述晶圆载 台的上方, 中心区域设置所述直流探针卡; 所述第二台面位于所述第, PXI-e多功能测试平台及四端口矢量网络 分析仪; 所述自动探针台包括晶圆载台、 第一台面及第二在于, 所述多端口射频微波芯片的测 试系统至少包括: 自动探针台, 直流探针卡, 射频探针, 探针座 2020.11.24 CN 111983434 A 1.一种多端口射频微波芯片的测试系统, 其特征度高、 成本低、 测试灵活性高。 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 CN 111983434 A测试。 本发明的多端口射频微波芯片的测试系统 结构简单、 测试参数覆盖性高、 测试效率高、 测试 精的直流特 性测试及监测; 四端口矢量网络分析仪, 给射频 探针提供测试信号实现对待测芯片的射频特性 分别进行XYZ 方向的三维移动; PXIe多功能测试平台, 给直流 探针卡提供测试信号实现对待测芯片第二台面位于第一台面 的上方, 探针座安置于第二台面上; 自动探针台 和探针座由伺服电机驱动, 可以物台、 第一台面及第二台面 的自动探针台; 第一台面位于载物台的上方, 中 心区域安置直流探针卡; 射频微波芯片的测试系统 (57)摘要 本发明提供一种多端口射频微波芯片的测 试系统, 包括: 具有载人 施婷婷 (51)Int.Cl. G01R 31/28(2006.01) (54)发明名称 多端口2)发明人 丁旭晏殊汪家乐 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 代理江铖昌科技股份有限公司 地址 310010 浙江省杭州市西湖区三墩镇 西园三路3号5幢601室 (721)申请号 202011019258.8 (22)申请日 2020.09.25 (71)申请人 浙19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日

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